四氯化硅是無色透明液體，純度稍低的呈現微黃或者淡黃色，有窒息性氣味。常溫常壓下密度1.48，熔點-70℃，沸點57.6℃，沸點隨著壓力增高而增高。在潮濕空氣中水解而成硅酸和氯化氫。

四氯化硅物理性質

外觀與性狀：無色或淡黃色發煙液體，有刺激性氣味，易潮解。

熔點(℃)：-70

相對密度（水=1）：1.48

沸點(℃)：57.6

相對蒸氣密度（空氣=1）：5.86

分子式：SiCl4

分子量：169.90

飽和蒸氣壓(kPa)：55.99(37.8℃)

溶解性：可混溶于苯、氯仿、石油醚等多數有機溶劑。

四氯化硅化學性質

受熱或遇水分解放熱，放出腐蝕性煙氣。對很多金屬尤其是潮濕空氣存在下有腐蝕性。

四氯化硅在潮濕空氣中水解而成硅酸或原硅酸和氯化氫，方程式如下：

SiCl4+3H2O====H2SiO3+4HCl 或SiCl4+4H2O====H4SiO4+4HCl